作为顶尖科学家,周晓东从事的又是芯片设计制造这种极为高端的技术产业,这种高端产业可以说是米国的命脉之一,干的就是虎口夺食这种有着极高风险的事情,那么能不能在米国出手的时候还能把芯片制造出来就成了他优先考虑的事情。
芯片制造最关键的就就光刻工艺和刻蚀工艺和薄膜沉积三大工艺生产环节,这是关乎到周晓东自己公司的生死存亡的事情。
这次罗志平和他技术团队来到了鹏城市,周晓东心中那是极为兴奋的,他就算是拼了命也要在几年时间之内将让自己的公司拿下芯片制造中几大关键的设备工艺技术。
为了尽快拿下刻蚀设备其中的关键子系统部件关键制造技术,周晓东那是亲自带着技术团队泡在技术实验室里面攻克包括同步脉冲射频电源模块。
因为高性能的高频脉冲电源模块是刻蚀设备需要的最底层也是非常重要的子系统模块之一。
这种需要输出十千瓦以上的电源模块要保证以很低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性,因为脉冲功率很高的话可以提升等离子密度和离子能量,这才能支持更快更深的等离子蚀刻工艺步骤以及缩短沉积工艺时间。
周晓东那是亲自动手设计这种电源模块的需要的数模混合芯片和一些硬件电路,写控制算法软件。
为了跟踪等离子的变化做出动态和实时的检测,周晓东自己还动手写了CCD检测设备的对等离子体变化的图像识别算法。
这个过程当中他和罗志平和这些高级工程师一起设计讨论了一种新型的电子束加速器的技术方案。
牧野电子科技公司、玄思科技公司以及星环科技公司的技术团队都是承担了各种子系统部件研发制造的任务。
牧野电子科技公司这边承担了电源模块和一些精密器件的研制工作,玄思科技公司那种钟保国带领的技术团队承担了光学检测装置的研制工作,而星环科技公司这边则承担了陶瓷静电吸盘的研制工作。